項(xiàng)目類型：中芯國(guó)際集成電路制造（北京）有限公司污染源在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
應(yīng)用場(chǎng)景：采用了OPSIS SYSTEM 400拖帶監(jiān)測(cè)的方案，實(shí)現(xiàn)套系統(tǒng)拖帶監(jiān)測(cè)多條煙囪廢氣的功能
監(jiān)測(cè)項(xiàng)目：HF、HCl、CL2、 NH3
系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖：

  采用一套OPSIS SYSTEM 400在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，使用AR600紫外差分吸收光譜分析儀一臺(tái)，搭配MX012多路器實(shí)現(xiàn)單臺(tái)分析儀連續(xù)循環(huán)測(cè)量多條煙囪的功能，該系統(tǒng)對(duì)#1~#3煙囪的NH3堿性氣體進(jìn)行一拖三的在線監(jiān)測(cè)。由于R型光纖的長(zhǎng)度有一定的限制，距離站房較遠(yuǎn)的#3煙囪使用快速循環(huán)回路（FastLoop）進(jìn)行監(jiān)測(cè)。